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EUV peut désigner :
- extreme ultraviolet radiation (en français, rayonnement ultraviolet extrême), un rayonnement électromagnétique dans la partie du spectre électromagnétique couvrant les longueurs d'onde de 124 à 10 nm ;
- lithographie EUV (où EUV signifie extrême ultraviolet), un procédé de photolithographie assez semblable aux procédés de lithographie classiques actuels.